中国科学院沈阳自动化研究所成立于1958年11月。成立之初被称为辽宁电子技术研究所,1960年4月更名为中国科学院辽宁分院自动化研究所,1962年至1972年的名称为中国科学院东北工业自动化研究所,1972年起正式定名为中国科学院沈阳自动化研究所。
固体表面物理化学国家重点实验室厦门大学于1986年通过论证,1987年获准建设,1990年建成验收,向国内外开放。田昭武院士、万惠霖院士和田中群院士先后担任实验室主任,蔡启瑞院士、张乾二院士和万惠霖院士先后担任学术委员会主任。现任实验室主任由谢兆雄教授担任,学术委员会主任由万惠霖院士担任。实验室现有固定人员60人,其中高级研究人员48人包括6位中国科学院院士,17位国家杰出青年科学基金获得者,技术人员9人,管理人员3人。
广州分院为中科院机关派出机构,联系中科院在广东的南海海洋研究所、华南植物园、广州能源研究所、广州地球化学研究所、广州生物医药与健康研究院、深圳先进技术研究院、广州化学有限公司、广州电子技术有限公司,在湖南的亚热带农业生态研究所,在海南的深海科学与工程研究所。此外,依托广州分院的非法人单元有3个:广州中科院工业技术研究院、中科院云计算产业技术创新与育成中心、佛山中科院产业技术研究院。在建或筹建的国家重大科技基础设施项目4个,如中国散裂中子源工程、江门中微子实验项目等。
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